残余气体分析仪(RGA)包括两个系列:PRA和WRA,在带来高性能和高效率的同时,更加简单易用。

PRA系列各方面性能比较均衡且具有出色的性价比。其有4个型号可选择,用户可以选择基本型,或者可以选配电子倍增器用于提高灵敏度和测量范围。因此PRA是入门型的最佳选择。

WRA系列是一款进阶型号,其具有市场领先的性能表现。其有两个型号可供选择,根据测量原子量的范围,可用于更大范围的气体及过程检测。它们也提升了灵敏度,可在测量过程中提供更好的精度。

所有的RGA都配备了易于操作的专用软件,它允许用户从自己的电脑上连接多达16台设备实时监控工艺流程以及数据分析。对于一些仅需要看一眼特定数据的用户来说,RGA配备特有的显示面板,可用于集中主要气体的分压或含量显示,无需连接电脑。

性能特点

• 全压测量 能够结合分压得到系统的全压或直接通过内置离子规得到压力值。

• 在线显示 能够实时读取特定气体分压值、含量等信息。

• 可维护 可使用标准工具以方便维修零部件。

• 自保护 在错误使用时能启动自保护功能。

• 免费软件 标准软件,无需额外的成本。

• 高灵敏度 带电子倍增管,灵敏度可高达400A/mbar。

• 可测分压低 WRA系列可测分压低至1×10-15mbar

技术指标

订货信息

货号 描述
D05001101 PRA100
D05001102 PRA100S
D05001201 PRA200
D05001202 PRA200S
D05002202 WRA200S
D05002302 WRA300S
D05001016 PRA100/200分析管
D05001015 PRA100S/200S分析管
D05001013 PRA离子源
D05002015 WRA-S分析管
D05002014 WRA200S/300S灯丝套件
D05002013 WRA200S/300S离子源
D05002012 PRA-S/WRA-S SEM